在上一期的文章中，介绍了LECO（又名激光增强接触优化）及其工艺流程。这种先进的激光烧结技术，能够降低晶硅片与金属电极之间的接触电阻率，提高电池的转换效率。美能TLM接触电阻测试仪，可以测量接触电阻和线电阻，反应扩散、电极制作、烧结等工艺中存在的问题。本期将介绍LECO与传统LSE工艺的区别和对比优势。

LSE工艺背景介绍

金属半导体触点通常是通过在晶硅片丝网印刷金属来制造的，低欧姆触点的形成是近年来研究的一个主要课题。在传统的光伏电池制造中，激光选择性发射区LSE（Laser Selective Emitter）技术被用来提升晶体硅电池的效率。

在这一过程中，通过激光局部掺杂来形成具有不同掺杂水平的区域。高掺杂区域具有较低的接触电阻，低掺杂区域则有更低的载流子复合率。通过不同掺杂水平，从而优化电池前表面的电荷载流子收集和电流的输送。

但是在LSE工艺过程中，激光掺杂可能会对硅片造成不必要的热损伤或缺陷，这可能会影响电池的长期稳定性和性能。另外，LSE在局部掺杂的操作上较为复杂，且增加了制造成本。

激光增强接触优化LECO工艺

激光辅助烧结技术又名激光增强接触优化（Laser-enhanced contact optimization(LECO)），2016年由Cell Engineering GmbH公司申请专利用于回收修复欠烧结的PERC电池。LECO是一种先进的激光烧结技术，用于改善太阳能电池中金属电极与硅片之间的接触。

这个工艺过程发生在丝网印刷太阳能电池的快速燃烧过程之后，经过LECO处理后，太阳能电池的接触电阻明显降低，即使在低掺杂的发射体上，也能形成接触。用于LECO工艺的新浆料也显示出提高了开路电压以及短路电流的小幅度增加。

LECO处理过程中触点结构阶段示意图模型

LECO与LSE不同，其通过精细控制热影响区域，减少了对硅片的热应力和潜在损伤。

LECO的优势

LECO技术的优点包括提高电池效率、能够精确控制、降低电池片损耗、提升产能和可靠性与降低制造成本。

1. LECO可以通过优化金属接触和减少接触电阻，从而可以在同样的线宽下获得更高的电流，或在同样的电流下获得更细的线路，来提高太阳能电池的转换效率；

2. 激光工艺可以非常精确地控制热影响区域，使得可以在不损害电池活性区域的前提下，破坏钝化层并形成金属接触；

3. 传统的热烧结过程可能会造成整片硅损伤，LECO作为一种非接触式技术，风险较低，对硅片的热应力和损伤减少；

4. LECO工艺的自动化程度高，可以集成到高速生产线中，有助于提升电池生产的一致性和可靠性；

5. 由于激光处理可以非常精确，因此可以减少金属使用量，降低制造成本。此外，LECO适用集成级别丰富、适用电池类型广泛

美能TLM接触电阻测试仪

美能TLM接触电阻测试仪，能够快速、灵活、精准的测量太阳能电池的接触电阻和线电阻。反映扩散、电极制作、烧结等工艺中存在的问题。

接触电阻率测试范围：0.1~120mΩ*cm＾2；

线电阻测试范围：0.2~40Ω/cm

接触电阻率测量精度：5%或0.5mΩ*cm＾2

线电阻测量精度：5%或0.1Ω/cm

静态测试重复性≤1%，动态测试重复性≤3%

LECO在TOPCon电池上的应用已经被证明，在较低温度下燃烧的TOPCon太阳能电池在LECO后两侧的接触电阻率更低，其能让转换效率提升0.2%-0.5%。美能TLM接触电阻测试仪，可以智能实现对栅线的精准定位、视觉识别和自动下压测试，极大简化测试步骤，提高测试效率，帮助客户优化测试流程，提高生产效率。