ITO薄膜距今已存在100多年，其涉及的领域也随着时间的流逝而逐渐广泛和深入，并且凭借对太阳电池较高的透光率和电阻率在光伏行业中受到电池厂商的高度青睐。「美能科技」研发的美能分光光度计和美能扫描四探针方阻测试仪，帮助企业控制生产工艺，着力于提高商业成品电池片光电转化效率，从而带给电池厂商更好的产品体验。本期美能光伏将给您介绍什么是ITO薄膜以及它的特性与性能。

什么是ITO薄膜

ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，以锡和氧空位为施主。在常温下有很好的导电性，其基本特征吸收在紫外线，对可见光透过率影响不大，能更好的提高其产品效能。

ITO薄膜的特性

ITO薄膜具有较高的导电率、较高的可见光透过率、较高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是太阳能电池最常用的薄膜材料。ITO薄膜具有复杂的立方铁锰矿结构，其特性主要有：

 1、  导电性能好(电阻率可低达10-4Ω·cm)，带隙宽3.5~4.3eV，载流子浓度（1021cm-3）和电子迁移率（15~45cm2/Vs-1）较高；

2、 在可见光波段透过率，可达85%以上；

3、 对紫外线的吸收率较高，可达85%以上；

4、 对红外线具有反射性，反射率高于80%；

5、 对微波具有衰减性，衰减率可达85%以上；

6、 膜层硬度高，耐磨，耐化学腐蚀(氢氟酸等除外)；

7、 膜层具有很好的酸刻、光刻性能，便于细微加工，可以被刻蚀成不同的图案。

ITO薄膜的基本性能

ITO(In2O3:SnO2=9:1)的微观结构，In2O3里渗入Sn后，Sn元素可以代替In2O3晶格中的In元素而以SnO2的形式存在，因为In2O3中的In元素是三阶，形成SnO2时将贡献一个电子到导带上，同时在一定的缺氧状态下产生氧空穴，形成1020到1021cm-3的载流子浓度和10到30cm2/vs的迁移率。

ITO电阻转换图

这个机理提供了在10-4Ω.cm数量级的低薄膜电阻率，所以ITO薄膜具有半导体的导电性能。ITO是一种宽能带薄膜材料，其带隙为3.5-4.3ev。紫外光区产生禁带的励起吸收阈值为3.75ev，相当于330nm的波长，因此紫外光区ITO薄膜的光穿透率极低。同时近红外区由于载流子的等离子体振动现象而产生反射，所以近红外区ITO薄膜的光透过率也是很低的，但可见光区ITO薄膜的透过率非常好，由于材料本身特定的物理化学性能，ITO薄膜具有良好的导电性和可见光区较高的光透过率。

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ITO薄膜具有的低电阻率和高透光率的特性，能够大大提高太阳能电池的效率。 [美能光伏]着力于提高太阳电池的生产品质，从多方面解决太阳能光伏电池片生产品质控制问题，帮助企业控制生产工艺。