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FPP230A
与非接触式涡流测量相比,四探针技术具有更高的分辨率、良好的精度、长期稳定性和更宽的测量范围。
非接触式涡电流测量将衬底的薄层电阻率与表面层的电阻率结合在一起测量,并导致不确定度。
产品应用
● 半导体及太阳能电池(单晶硅、多晶硅、钙钛矿)
● 液晶面板(ITO/AZO)
● 功能材料(热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布)
● 半导体工艺(金属层/离子注入/扩散层)(ITO/AZO)
● 非晶合金
快速材料表征
PC软件(随系统提供)可执行薄层电阻、电阻率和电导率的所有必要测量和计算,使材料表征变得毫不费力。它还会自动执行校正因子计算。
无损检测
四点式探针在设计时考虑了精密样品的测量,温和的弹簧加载触点和圆形尖端。
探针压力3-5N,防止探头刺穿脆弱的薄膜,同时仍然提供良好的电接触。
全自动扫描
“手动任意点测量”和“全自动多点测量”两种测量模式。XY轴自动平台最大行程兼容至230mm x 230mm,多种预设方案供选择,也可自定义测试方案,只需提供坐标,即可一键测量。
<0.2%(标准电阻片)
≤2%(太阳能电池片,如硼扩/POLY退火后硅片)
绝对定位精度:40μm
重复定位精度:5μm
位移分辨率:1μm
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