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Sinton硅块少子寿命测试仪
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无人机EL检测仪
Horiba椭圆偏振光谱仪
UVISEL PLUS
光谱范围从FUV到NIR:190-2100nm
UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。
UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM相位调制技术,与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。
相比于采用旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪,UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面,还可以表征50um的厚膜。
相位调制技术的独有特点为高频调制50kHz,信号采集过程无需移动部件。
测试全范围的椭偏角,Ψ(0-90),Δ(0-360)。
数据采集速度快,高达50毫秒/点,是动力学研究和在线测量的理想选择。
膜层厚度,从1Å到50µm;
表面和界面粗糙度;
光学常数(n,k),适用于各向同/异性和渐变层;
光学特性如:吸收系数α,光学带隙Eg;
材料性能:合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等;
穆勒矩阵;
退偏;
快速交付与全面支持
通过现场操作指导和售后技术支持,为客户提供从产品到生产线运行的全程支持。