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美能光伏科普 | 清洗制绒之单晶制绒
日期:2023-02-27浏览量:15
清洗制绒的工艺流程在制作多晶电池和单晶电池的时候,也是有差异化存在的,本期「美能光伏」将给大家介绍单晶制绒的工艺流程。
单晶制绒的原理与要求
绒面一般要求:制绒后,硅片表面无明显色差;绒面小而均匀。
单晶制绒原理:
简言之,即利用硅在低浓度碱液中的各向异性腐蚀,即硅在(110)及(100)晶面的腐蚀速率远大于(111)晶面的腐蚀速率。经一定时间腐蚀后,在(100)单晶硅片表面留下四个由(111)面组成的金字塔,即上图所示金字塔。
根据文献报道,在较低浓度下,硅片腐蚀速率差异最大可达V(110):V(100):V(111)=400:200:1。
尽管NaOH(KOH),Na2SiO3,IPA(或乙醇)混合体系制绒在工业中的应用已有近二十年,但制绒过程中各向异性腐蚀以及绒面形成机理解释仍存争议,本文将列出部分机理解释:
A、金字塔从硅片缺陷处产生;
B、缺陷和表面沾污造成金字塔形成;
C、化学反应产生的硅水合物不易溶解,从而导致金字塔形成;
D、异丙醇和硅酸钠是产生金字塔的原因。
硅对碱的择优腐蚀是金字塔形成的本质,缺陷、沾污、异丙醇及硅酸钠含量会影响金字塔的连续性及金字塔大小。
影响因素
单晶绒面形成最终取决于两个因素:腐蚀速率及各向异性
腐蚀速率快慢影响因子:
1、腐蚀液流至被腐蚀物表面的移动速率;
2、腐蚀液与被腐蚀物表面产生化学反应的反应速率;
3、生成物从被腐蚀物表面离开的速率。
单晶制绒具体影响因子:
NaOH浓度、溶液温度、异丙醇浓度、制绒时间、硅酸钠含量、槽体密封程度、异丙醇挥发、搅拌及鼓泡。
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