
量子效率测试仪
PL/EL一体机
Sinton硅片少子寿命测试仪
Sinton硅块少子寿命测试仪
绒面反射率测试仪
3D共聚焦显微镜
在线SiN膜厚测试仪
在线反射率测试仪
在线四探针方阻测试仪
全自动扫描四探针方阻测试仪
在线薄膜厚度测试仪
晶化率测试仪
Horiba显微共焦拉曼光谱仪
傅里叶红外光谱仪
霍尔效应测试仪
分光光度计
全光谱椭偏仪
Horiba椭圆偏振光谱仪
TLM接触电阻率测试仪
超景深显微镜
网版智能影像测量仪
全自动影像测量仪
卧式拉力机
电池片稳态光衰老化试验箱
电池片紫外老化试验箱
电池片拉脱力综合测试仪
外观检验台
湿漏电测试系统
组件实验室EL测试仪
紫外老化试验箱
稳态光衰老化试验箱
电流连续性监测系统
PID测试系统
旁路二极管测试系统
LeTID测试系统
反向电流过载系统
脉冲电压测试系统
绝缘耐压测试仪
接地连续性测试仪
绝缘耐压接地测试仪
湿热环境试验箱
湿冻环境试验箱
热循环试验箱
动态机械载荷测试机
静态机械载荷测试机
冰雹冲击试验机
引出端强度试验机
霰弹冲击试验机
抗划伤(切割)测试机
剥离试验机
万能材料试验机(单臂)
万能材料试验机(双臂)
光伏玻璃透过率测试仪
醋酸测试试验箱
交联度测试系统
二极管接线盒综合测试仪
落球冲击试验机
半自动四探针
全自动探针式台阶仪
多通道太阳能MPPT系统
Horiba稳瞬态荧光光谱仪
大面积钙钛矿方阻椭偏二合一测试仪
大面积钙钛矿影像显微二合一监测站
钙钛矿P1激光划线测试仪
钙钛矿在线PL测试仪
钙钛矿在线方阻测试仪
钙钛矿在线膜厚测试仪
钙钛矿工艺检测工作站
便携式EL测试仪
手持热成像测试仪
户外组件多通道测试系统
光伏逆变器电能质量测试仪
无人机EL检测仪
光热真空老化试验箱
IV测试仪
IVEL分选机
无银化BC电池效率逼近26%:基于钝化接触的双极性丝网印刷铝接触
日期:2026-06-10浏览量:5
在光伏行业迈向TW级规模制造的进程中,如何降低金属化成本、减少银依赖,已成为高效晶硅电池技术发展的关键议题之一。尤其是在背接触(BC)电池体系中,虽然效率持续突破,但银浆消耗带来的成本与供应链压力正日益凸显。美能TLM接触电阻测试仪是专用于太阳能电池电极优化中关键电学参数提取的高精度分析设备,具备接触电阻率与栅线电阻双重测试功能,为TOPCon电池等高效结构的电极材料优化与工艺改进提供可靠的量化依据。
本研究围绕TBC硅太阳能电池无银化金属化方案的研究提出了一种新的解决思路:通过丝网印刷铝(Al)电极替代传统银电极,实现低成本、高兼容性的背接触电池金属化路径,并在效率潜力上逼近26%。
从高效率到可制造性:TBC技术的产业化挑战
背接触(BC)结构通过将全部金属电极转移至电池背面,彻底消除了正面遮光损失,是实现高效率晶硅电池的重要技术方向。
在多种BC路线中:
· HBC(异质结背接触)已实现27.09%效率
· TBC(钝化接触背接触)达到27.03%效率
· HIBC进一步刷新至27.81%效率
然而,尽管效率表现优异,TBC技术仍面临两大核心问题:
· 工艺复杂度较高
· 银(金属化)用量大,成本压力显著
因此,开发银替代金属化方案成为推动TBC迈向产业化的关键突破口。
铝替代银:为何选择Al作为金属化方案?
在众多候选材料中,铜(Cu)与铝(Al)均被视为潜在替代方案,但路径存在明显差异:
· Cu:导电性优异,但需要阻挡层与电镀工艺,系统复杂
· Al:无需复杂电镀体系,可直接兼容丝网印刷与烧结工艺
铝材料在PERC与Al-BSF电池中已大规模应用,具备:
· 成本低
· 资源丰富
· 工艺成熟(丝网印刷 + 烧结)
但在TBC体系中,其挑战在于:
· 如何控制Al与poly-Si界面反应
· 如何同时兼顾低接触电阻与低复合损失
本研究正是围绕这一关键问题展开。
核心方案:双极性铝接触工程设计
TBC太阳能电池铝金属化工艺流程与结构示意图
研究团队提出了一种双极性(n型 / p型)Al接触工程策略,用于替代传统银金属化结构。
核心思路包括:
· 使用专用Al浆料体系(优化Al-Si合金颗粒与玻璃体系)
· 通过烧结工艺调控界面反应强度
· 实现n-poly与p-poly双侧低阻接触
· 抑制过度Al-Si合金化与深度侵蚀
该方案的关键目标是:
在不破坏poly-Si/SiOx钝化接触结构的前提下,实现可量产的低银甚至无银金属化体系。
关键工艺突破:飞秒激光LCO实现精准开孔
飞秒紫外激光LCO过程及其对钝化结构影响表征
在局部接触结构构建中,研究采用了257 nm飞秒紫外激光LCO(Laser Contact Opening)技术。
其优势在于:
· 深紫外高光子能量(约4.8 eV)
· 极浅吸收深度,实现选择性去除AlOx/SiNx
· 几乎不损伤下方poly-Si/SiOx钝化层
实验结果表明:
· LCO后iVOC基本不下降
· Raman谱未出现明显非晶硅信号
· 钝化质量保持稳定
这说明该工艺可以实现:“只开窗口,不破坏钝化”的精准界面工程能力。
烧结窗口优化:700℃为关键工艺节点
不同烧结条件下Al接触的电学性能对比
通过对n型与p型poly-Si进行系统对比发现:最优烧结条件:700℃
局部Al接触结构及界面形貌分析
在该条件下:
· n型接触 J0,metal ≈ 2,500 fA/cm²
· p型接触 J0,metal ≈ 2,400 fA/cm²
接触电阻率:
· n型:0.3 mΩ·cm²
· p型:0.1 mΩ·cm²
进一步观察发现:
· 温度过低 → 接触形成不足(电阻上升)
· 温度过高 → 界面反应增强(复合增加)
尤其值得注意的是:
· p型poly-Si界面反应明显更剧烈
· n型界面反应更局部化、可控性更强
界面机理:n型“克制反应”,p型“强反应”
不同烧结条件下Al/n型与Al/p型poly-Si界面形貌与掺杂分布演化
微观分析揭示了显著的极性差异:
n型poly-Si界面
反应区域离散
仅局部形成蚀坑
poly层结构保持较完整
未形成连续深刻蚀
p型poly-Si界面
蚀刻区域明显更大
Al-Si反应更充分
更易形成Al-p⁺层
随温度升高快速扩展
Al/poly-Si界面反应机理示意图
ECV结果进一步显示:
n型在高温下才出现p型反转
p型则从低温即开始明显消耗
本质原因包括:
掺杂环境差异(Al本征p型特性)
p型界面无反向掺杂阻碍
poly-Si微结构差异可能增强扩散
器件结果:效率接近26%,银替代可行性成立
TBC太阳能电池Al金属化体系的器件模拟结果与效率优化路线图
基于实测参数,研究进行了器件级仿真分析:
可以看出:JSC基本不变;下降主要来自: 接触复合增加、局部接触引入的串联电阻
进一步分析指出:性能瓶颈主要不是电阻,而是J0,metal(接触复合)偏高
效率路线图:关键在“降低复合”
模型进一步揭示:
当前Al方案:
J0,metal ≈ 2400–2500 fA/cm²
对应效率:≈25.9%
若要达到Ag体系水平(≈26.8%):
必须满足:n型与p型J0,metal同时降至 400–500 fA/cm² 以下
同时:
允许更小LCO间距
提升填充因子与VOC平衡
优化接触图形设计空间
结论非常明确:
下一阶段的核心不在“能不能做Al接触”,而在“如何进一步降低界面复合”。
本研究系统验证了丝网印刷铝金属化在TBC背接触硅太阳能电池中的可行性,通过LCO精准开孔与烧结工艺优化,实现了n型与p型poly-Si的有效双极性低阻接触,并建立了稳定的工艺窗口(约700℃);尽管Al接触在接触复合方面仍高于银体系,从而使器件效率略降至约25.9%(低于Ag体系的26.8%),但其效率已接近26%并展现出明确的产业化潜力。研究进一步表明,当前性能瓶颈主要源于Al/poly-Si界面复合损失而非接触电阻,若未来通过浆料工程、界面钝化及激光增强接触等手段将J0,metal进一步降低至400–500 fA/cm²以下,无银TBC电池有望在保持低成本优势的同时逼近甚至达到现有银金属化电池的效率水平,为下一代低银/无银高效晶硅电池提供了重要技术路径。
联系电话:400 008 6690
美能TLM接触电阻测试仪所具备接触电阻率测试功能,可实现快速、灵活、精准检测。
静态测试重复性≤1%,动态测试重复性≤3%
u 线电阻测量精度可达5%或0.1Ω/cm
u 接触电阻率测试与线电阻测试随意切换
u 定制多种探测头进行测量和分析
美能TLM接触电阻测试仪通过测量不同间距下传输线模型的总电阻并线性拟合,精准提取接触电阻率。
原文参考:Toward silver-free back contact silicon solar cells: Dual-polarity screen-printed aluminum contacts on poly-Si/SiOX passivated contacts











































































