等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺过程中对SiO2厚度的影响因素

晶硅太阳能电池清洗制绒扩散制结镀膜栅线表征电池片QC检验 IEC质量检测标准组件QC检验钙钛矿太阳能电池钙钛矿在线检测电站运维监控

量子效率测试仪 PL/EL一体机 Sinton硅片少子寿命测试仪 Sinton硅块少子寿命测试仪

在线四探针方阻测试仪全自动扫描四探针方阻测试仪在线薄膜厚度测试仪晶化率测试仪 Horiba显微共焦拉曼光谱仪傅里叶红外光谱仪

外观检验台湿漏电测试系统组件实验室EL测试仪紫外老化试验箱稳态光衰老化试验箱电流连续性监测系统 PID测试系统旁路二极管测试系统 LeTID测试系统反向电流过载系统脉冲电压测试系统绝缘耐压测试仪接地连续性测试仪绝缘耐压接地测试仪湿热环境试验箱湿冻环境试验箱热循环试验箱动态机械载荷测试机静态机械载荷测试机冰雹冲击试验机引出端强度试验机霰弹冲击试验机抗划伤（切割）测试机剥离试验机

万能材料试验机（单臂）万能材料试验机（双臂）光伏玻璃透过率测试仪醋酸测试试验箱交联度测试系统二极管接线盒综合测试仪落球冲击试验机

半自动四探针全自动探针式台阶仪多通道太阳能MPPT系统 Horiba稳瞬态荧光光谱仪

钙钛矿P1激光划线测试仪钙钛矿在线膜厚测试仪钙钛矿工艺检测工作站

手持式IV测试仪便携式EL测试仪手持热成像测试仪户外组件IV测试仪户外组件多通道测试系统光伏逆变器电能质量测试仪无人机EL检测仪

量子效率测试仪

MNPVQE-300Pro量子效率测试仪是光伏研究和生产线质量过程中常见的工具，用于准确测定太阳能电池光谱响应/EQE (IPCE)和IQE。

MNPVQE-300Pro与各种类型的光伏器件、材料和架构兼容，包括c:Si、mc:Si、a:Si、µ:Si、CdTe、CIGS、CIS、Ge、染料敏化、有机/聚合物、串联、多结（2-、3-、4-结等）、量子阱、量子点、硫族化物和钙钛矿。

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PL/EL一体机

对晶硅太阳能电池片内部的缺陷，如晶体缺陷、杂质等，进行高精度检测从而帮助生产人员及时调整工艺参数，提高产品质量。

ME-PSC-PL/EL tandem拥有智能检测系统，可根据缺陷种类进行识别定制，如黑斑、麻点、黑角、划伤等。

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Sinton硅片少子寿命测试仪

WCT-120测试仪拥有被高度认可的准稳态光电导(QSSPC)少子寿命测量技术。QSSPC技术应用在模拟多晶硅片，掺杂扩散和低少子寿命样品方面非常理想。QSSPC少子寿命测量也能得到暗开路电压(与光照)的曲线，可与太阳能电池制程每一阶段的IV曲线作比较。

WCT-120可搭配Suns-Voc一起使用。

Suns-Voc主要用于测量半成品电池片以及完整电池片，在监控优化电池片的正面浆料印刷工艺后非常理想。可优化和模拟维持电压，得到好的欧姆接触和避免漏电分流这些步骤。

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Sinton硅块少子寿命测试仪

BCT-400型号少子寿命测试仪可以不需要表面钝化处理，就量测P型或者N型单晶或者多晶硅块少子寿命。少子寿命的量测对于监控硅块在长晶过程引入的缺陷或者污染物造成的缺陷有着重要的意义。

还可以通过使用少子寿命测试仪BCT-400直接判断表面平坦的硅块的质量好坏。

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绒面反射率测试仪

RTIS绒面反射率测试仪可以测试制绒片对不同波长段的光的反射率强度，测试结果会通过软件对光电信号进行计算最终以可视化的曲线呈现出来，有利于用户对制绒片的反射率这一特性进行系统表征。

适用于「单多晶硅制绒、镀膜、刻蚀及湿法/干法黑硅等」各前道工艺的粗糙表面指定波段范围内的反转率、反射率最低波长点、总反射能量等。

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3D共聚焦显微镜

ME-PT3000是一款光伏电池片表面质量检测专用光学仪器，基于光学原理结合精密Z向扫描模块与3D建模算法，通过非接触式3D扫描成像，实现栅线高度/宽度、绒面金字塔数量的量化检测，可反馈清洗制绒、丝网印刷工艺质量。

设备采用落地式共聚焦显微镜结构，配备抗阻尼机构隔离环境震动，通过点阵式扫描与信号处理算法，支持高精度3D测量及高清聚焦成像，适用于光伏电池片生产过程质量监控。

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清洗制绒工作站

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在线四探针方阻测试仪

FPP230 Auto是专为「光伏工艺监控设计」的在线四探针方阻仪,可以对最大230mm样品进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。

随着客户自动化程度的提高，美能推出的1-9点在线四探针以超高的精度，灵活的设计收到了自动化厂商与客户的广泛好评。

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全自动扫描四探针方阻测试仪

FPP230A是专为科学研究设计的扫描四探针方阻测试仪，可以对最大230mm样品进行快速、全自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。

动态测试重复性（ITO薄膜）可达0.2%，为行业领先水平。1mΩ~100MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于 “光伏、半导体、合金、陶瓷” 等诸多领域。

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在线薄膜厚度测试仪

POLY5000是专为光伏工艺监控设计的在线膜厚测试仪，可以对样品进行快速、自动的5点同步扫描，监测“工业产线上”各式薄膜的厚度以及光学常数，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，可根据客户样品大小定制测量尺寸。

使用美能成熟的「膜厚测量」，POLY5000使用户能够优化膜厚特性，并实时监控工艺的稳定。

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晶化率测试仪

美能晶化率测试仪Galaxy Solar可同时适用于光谱和成像，具有高光谱分辨率、极低杂散光的光谱仪保证光谱数据的准确性和重复性，一系列针对拉曼光谱成像的新技术引入，极大地提升了拉曼光谱成像的质量和速度，新型成像算法可以在纷繁复杂的大数据中提炼出有用的光谱信息。
独特的高效率非对称式光路设计，配合光栅在轴扫描，抑制杂散光，消除衍射光，保证客户快速准确地获得高信噪比光谱和成像。

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Horiba显微共焦拉曼光谱仪

HORIBA LabRAM Odyssey 高速高分辨显微共焦拉曼光谱仪引入全反射概念，从物镜，耦合光路，光谱仪均采用反射镜组成，从仪器基础设计出发实现真正意义上的消色差，提出紫外灵敏度测试指标，满足全光谱范围内的高灵敏度测试要求。

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傅里叶红外光谱仪

美能傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)是研究各种分子在红外波段发射或吸收辐射规律与分子结构关系的有力工具，主要用于物质结构的分析。
利用红外吸收谱可以研究非晶硅、微晶硅材料中Si-H键的构型及其分布情况。

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霍尔效应测试仪

霍尔效应测试仪是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性的工具，用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。

HMS-3000霍尔效应测量系统主要由恒电流源、范德堡法则终端转换器、低温（77K)测量系统及磁场强度输入系统组成，拥有研究半导体材料霍尔效应所有的部件和配置，是一套非常成熟的仪器系统。

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分光光度计

UVN2800-Pro分光光度计采用独特的双光束光学设计，可以完美地校正不同样品基质的吸光度变化，从而可稳定地进行样品的测定，具有测试范围广、精度高以及稳定性好的优点。

UVN2800-Pro分光光度计支持测定从紫外区到近红外区的广范围波长区域的太阳光透过率，为太阳电池的效率分析提供了有力支持。

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全光谱椭偏仪

UVPLUS SE全光谱椭偏仪是美能光伏针对光伏太阳能电池研发和质量控制领域推出的高性能专用光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到近红外。

设备拥有高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件，专门用于测量和分析光伏领域中单层或多层纳米薄膜的层构参数（如厚度）和物理参数（如折射率n、消光系数k）。

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Horiba椭圆偏振光谱仪

UVISEL PLUS椭偏仪应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），具有对单层膜、多层膜等材料具有光学性能的分析能力，测量膜厚范围可从单原子层至微米量级。

UVISEL Plus集成了最新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100nm），校准仅需几分钟。

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TLM接触电阻率测试仪

在太阳能电池电极优化中，接触电阻是需要考量的一个重要方面。接触电阻的大小不仅与接触的图形有关，还与扩散工艺及烧结工艺有关。测量接触电阻率可以反映扩散、电极制作、烧结等工艺中存在的问题。

TLM-STD接触电阻率测试仪提供2种测试功能：
接触电阻率测试和线电阻测试：可切换使用。接触电阻率测试主要用于测试接触电阻，薄层电阻，接触电阻率等项目；
线电阻测试：用于测试栅线的线电阻。

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超景深显微镜

ME-UD6300超景深显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚微米级测量的检测仪器。它采用了高数值的物镜和光阑，通过调节光源的光斑大小和光阑的位置，使光线在不同深度处的聚焦度不同，从而实现超景深效果同时结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

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网版智能影像测量仪

美能AVT-4030网版智能影像测试仪集成尺寸、缺陷、膜厚、张力检测为一体，实现了光伏丝印网版高精度、高效率、全方面缺陷检测和线宽线距及涨缩测量，是质量控制QC人员理想的质检助手。

AVT-4030采用先进的图像处理技术和算法，人性化操作界面，只需几步完成操作，同时具有测量及数据统计分析功能，帮助客户分析及改善制程。

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全自动影像测量仪

美能全自动影像测量仪VMM PV配备了基于高分辨率相机的测量系统，可对各种零件进行快速、准确的测量。
VMM PV基础模块：用于检测光伏网板的图形，2D平面，以及栅线宽度、间距、PT值印刷效果等。
独家研发金属遮盖率模块：定向开发的计算银栅线占据整个电池片的一个遮盖比例。可以快速用视觉图形化的方法自动计算出遮盖比例，对比和原先设计的比例差值。

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卧式拉力机

光伏产业里电池片来料检测时，为了检验栅线焊接质量，需要对电池片做弯曲测试和焊带剥离强度试验来检测电池片性能。ME-CELL-HTT是专为电池片做180°剥离度试验研制的卧式拉力测试仪。
测试仪载荷范围为0N至100N，可提供具有卓越准确性和可靠性的测试方案，数据采集频率高达50Hz、力值精度从满量程到1/1000为示值的±0.5%，具有极高的灵活性。

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电池片稳态光衰老化试验箱

美能电池片稳态光衰试验箱采用能摸拟全光谱光源的金卤灯，来再现不同环境下存在的破坏性光波，可以为光伏电池片产品开发和质量控制提供相应的环境模拟和加速试验。

光照试验执行标准按IEC61215标准中MQT08、MQT09条款规定的稳定性测试，辐照面积最小可做到600×600mm，光照等级满足BBA标准。

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电池片紫外老化试验箱

美能光伏电池片紫外老化试验箱是一种专门用于模拟自然环境中紫外线辐射对光伏电池片进行加速老化测试的设备。

试验执行标准按IEC61215标准中MQT10条款规定，辐照面积最小可做到700×900mm，其核心功能是通过可控的紫外光源、温湿度调节等条件，评估材料在长期户外暴露下的耐候性、抗老化性能及可靠性。

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电池片拉脱力综合测试仪

美能电池片拉脱力综合测试仪，具有卧式模块测试功能，可进行卧式180°焊带剥离强度测试，28个传感器同时使用；又可实现电池片弯曲测试，满足三点，四点弯曲测试。

设备满足目前主流厂商各规格电池片的安装测试，广受青睐。专用于光伏行业硅料、硅晶片、电池组件等相关产品的剥离力、抗拉强度等测试。

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外观检验台

光伏组件的外观缺陷（裂纹，气泡，脱层等）在后续的试验中可能会加剧并对组件的性能产生不良影响。
美能外观检验台ME-PV-VI用于检测光伏组件中的任何外观缺陷，满足IEC61215-2:2021标准中MQT01外观检查要求。

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湿漏电测试系统

光伏组件湿漏电流试验系统用于验证组件经雨、雾、露水或溶雪等气候造成的湿气进入组件内部对电路引起腐蚀、漏电或安全事故的影响，确保组件绝缘性能符合标准。
美能湿漏电测试系统满足IEC 61215-2:2021、IEC 61730-2:2016、UL 1703-2015试验标准。

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组件实验室EL测试仪

光伏组件实验室EL测试仪是一种基于电致发光（Electroluminescence, EL）原理的高精度检测设备，主要用于评估光伏组件内部缺陷与性能，确保产品质量和可靠性。

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紫外老化试验箱

美能光伏组件紫外老化试验箱是一种专门用于模拟自然环境中紫外线辐射对光伏组件进行加速老化测试的设备。
试验执行标准按IEC61215标准中MQT10条款规定，辐照面积可做到5800×2800mm（满足4块2500×1400×50mm规格的组件同时测试），其核心功能是通过可控的紫外光源、温湿度调节等条件，评估材料在长期户外暴露下的耐候性、抗老化性能及可靠性。

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稳态光衰老化试验箱

美能稳态光衰试验箱采用能摸拟全光谱光源的金卤灯，来再现不同环境下存在的破坏性光波，可以为光伏组件产品开发和质量控制提供相应的环境模拟和加速试验。
光照试验执行标准按IEC61215标准中MQT08、MQT09条款规定的稳定性测试，辐照面积可做到6040×2560mm，光照等级满足BBA标准。

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电流连续性监测系统

电流连续性测试系统是专门为IEC61215标准中10.11高低温循环实验条款、10.12湿冻实验条款开发，主要包括提供稳定直流电、电流记录、温度记录和温度控制功能。通过温度控制直流电源的开启，对多路电流、多路温度长期实时监控。与热循环试验箱配合使用，可对多个组件内部电路导通性监控。

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PID测试系统

组件应用过程中出现长期泄漏电流会造成电池片载流子及耗尽层状态发生变化、电路中的接触电阻受到腐蚀、封装材料受到电化学腐蚀等问题，从而导致电池片功率衰减、串联电阻增大、透光率降低、脱层等影响组件长期发电量及寿命的现象。
PID抗性测试常与热循环（MQT11）、湿冻循环（MQT12）等结合，模拟组件在复杂环境下的综合失效模式。

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旁路二极管测试系统

旁路二极管测试系统是专为光伏组件设计的核心检测设备，用于评估旁路二极管（Bypass Diode）在极端工况下的导通性能、热稳定性及耐久性。作为光伏组件的“安全阀门”，旁路二极管可有效防止热斑效应，确保组件在局部遮阴或电池片失效时仍能安全运行。
本系统通过精准模拟实际应用场景，验证二极管的关键参数，保障组件长期可靠性，降低电站运维风险。

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LeTID测试系统

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反向电流过载系统

太阳能电池在应用过程中，可能会由于电压降低，受到其他电池串反向充电的可能，如果反向充电电流还没有达到电池串熔丝的保护电流，则由可能使组件长期反向充电，温度不断升高，损坏组件。
本测试是在提供反向电源，向太阳能电池反向充电，模拟实际工况，测试组件经受反向电流的能力。适用于IEC61730标准中的MST26条款。

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脉冲电压测试系统

光伏组件脉冲电压测试仪是一种专用于评估光伏组件在瞬态过电压（如雷击、开关浪涌）条件下的绝缘性能和可靠性的关键设备。
其核心功能是通过模拟IEC 61730等国际标准中规定的脉冲电压波形（如1.2/50 μs），验证组件内部材料（如封装胶膜、背板）及电路在极端电压冲击下的耐受能力，防止因绝缘失效导致的热斑效应、漏电或火灾风险。

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绝缘耐压测试仪

光伏绝缘耐压测试仪是用于评估光伏组件及电气设备绝缘性能与耐压能力的专用设备，主要检测其在高压环境下的漏电流、绝缘电阻及耐压强度，以确保产品符合安全标准并预防因绝缘失效引发的火灾或设备损坏风险。核心功能包括：

绝缘电阻测试：测量组件内部材料（如EVA胶膜、背板）的绝缘性能，确保无漏电隐患。
交/直流耐压测试：模拟雷击、电网浪涌等瞬态高压环境，验证组件长期耐受能力。
电弧侦测：识别高压下局部放电或电弧现象，评估潜在绝缘缺陷。

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接地连续性测试仪

美能接地连续性测试仪是专用于评估光伏组件接地系统可靠性的关键设备，其主要功能是检测光伏组件金属框架、接线盒与接地导体之间的电阻值，确保接地连续性符合安全标准。
该设备通过施加恒定直流电流，测量接地回路电阻，验证组件在极端条件下（如雷击、漏电）的电气安全性能。

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绝缘耐压接地测试仪

ME-PV-HIG是美能针对光伏行业自动化测试设备配套而开发的一款高性能耐压绝缘接地连续性三合一综合测试仪。标配数据采集软件，支持U盘远程升级程序。符合光伏标准IEC61215、IEC61730。

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湿热环境试验箱

太阳能组件在应用过程中需经受严酷气候环境考验，其中高温高湿环境（DH试验）是评估光伏组件可靠性及材料耐久性的核心测试项目。
该试验通过模拟85℃高温、85%RH相对湿度的双85极限环境（符合IEC 61215、UL 1703等国际标准），结合长达1000小时以上的持续循环测试，系统验证组件电性能衰减、封装材料失效、组件长期可靠性预测。

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湿冻环境试验箱

太阳能组件应用过程中会经受各种严酷天气的考验。其中组件承受高温和高湿以及随后的低温影响的能力，承受长期湿气渗透的能力等各项性能需要评估。HF环境模拟试验，为了验证评估组件或材料的可靠性，并通过热疲劳诱导失效模式，早期识别制造缺陷。

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热循环试验箱

美能热循环试验箱是专为太阳能组件设计的可靠性测试设备。它通过精准模拟高低温快速交变环境，验证组件产品在极端温度条件下的性能表现、结构稳定性及长期耐久性，并通过热疲劳诱导失效模式，帮助用户提前发现潜在缺陷，提升产品质量与市场竞争力。

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动态机械载荷测试机

对光伏组件和建筑集成光伏系统均需要进行机械性能评估，这一评估是确保这些系统长期功能性和优化商业产品的关键步骤。通过机械加载（ML）、非均匀机械加载（IML）和动态机械加载（DML）等方式进行性能测试，以验证光伏组件在外部机械载荷下的性能，确保组件不受视觉损坏和电气功能严重损失。
美能动态机械载荷测试仪，满足IEC61215-2016标准中4.15条例，IEC61730-2016标准中MST34条款，UL1703标准中41条款静态机械载荷测试要求。84通道压力传感器控制，每个气缸单独控制；吸盘间距可调，万向结构，保障组件表面受力均匀，高精度可编程直流电源监控组件内部电流连续性。

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静态机械载荷测试机

光伏组件静态机械载荷测试机是用于模拟光伏组件在户外实际安装中承受静态机械载荷（如风压、雪压、覆冰等）的专用设备，通过施加持续压力或拉力，评估组件的结构强度、材料耐久性及电气性能稳定性。
其核心目的是验证组件在极端环境下的抗压、抗弯、抗拉能力，确保其符合国际安全标准（如IEC 61215、IEC 61730、UL 1703等），并降低户外运行中的失效风险。

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冰雹冲击试验机

在光伏系统的运行过程中，组件面临各种环境挑战，其中就包括冰雹。当冰雹以高速撞击组件表面时，可能对光伏系统造成严表面破损、电池损伤、连接线断裂等严重影响。因此，了解冰雹对组件的影响和组件的抗冲击能力，对确保系统的可靠性和持久性至关重要。
美能冰雹冲击试验机是基于IEC61215标准MQT17条款开发，通过气压冲击不同直径大小的(人工制作的冰球用于模拟冰雹)冰球，并以恒速撞击组件，模拟冰雹气候对组件的影响，验证组件抗冰雹撞击的能力。

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引出端强度试验机

引出端强度试验机是专为IEC61215标准中的MQT14条款设计开发的，试验机满足拉力试验、扭力试验、粘结力试验。
设备模拟组件在安装过程中，组件引线端被无意或有意拉扯，设备以一定质量的砝码施加在引线端往复拉扯从而评判引线端的抗拉性能；设备利用马达施加一定扭力于引线端，从而评判引线端抗扭力的性能。

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霰弹冲击试验机

光伏霰弹袋冲击试验机是一种专门用于评估光伏组件（尤其是建筑一体化光伏 BIPV）抗冲击性能的测试设备，其核心功能是模拟人体或物体撞击玻璃表面的场景，验证组件在极端机械载荷下的安全性。
美能霰弹冲击试验机是基于IEC61730-2标准MST32条款开发的光伏组件抗重物撞击的能力测试设备，本机采用可控的升降系统，提升以铅球为填充物，玻璃丝带包裹制成的撞击袋，在不同垂直高度自由坠落时，产生动能作用于光伏组件表面，以验证钢化玻璃遭撞击破裂后，产生的划伤或刺伤危险伤害试验。

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抗划伤（切割）测试机

太阳能组件表面有塑料材料，在生产、安装、运行的任意过程，当锐利的物体触碰时，可能出现划伤现象，影响组件的绝缘性。严重的将会使内部带电体裸露，产生触电风险。
美能抗划伤（切割）测试机是根据IEC61730，UL1703，ASTM E2685-2009标准研制的自动测试设备，用于测试聚合物材料作为前后表面的组件是否能够经受住安装和维护过程中的常规操作，而无人身电击的危险。

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剥离试验机

光伏组件剥离/搭接试验机是通过对光伏产品的多年检测及研究工作，专门开发应用于光伏组件剥离试验和搭接试验的一款二合一新型产品，其技术指标满足IEC61730-2：2016标准的有关要求。

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万能材料试验机（单臂）

美能光伏万能材料试验机（单臂拉力机）采用紧凑型单立柱设计，专为光伏材料小负荷、高精度测试需求开发，适用于焊带、封装胶膜、接线盒连接器等关键部件。
可执行拉伸、剥离、弯曲等测试，精准测量抗拉强度、断裂伸长率及粘接性能，支持产线快速抽检与研发验证，是一种专用于测试光伏组件材料力学性能的设备。

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万能材料试验机（双臂）

美能光伏万能材料试验机（双臂拉力机）是一种高精度、高稳定性的力学测试设备，以双立柱门式结构为核心，具备高稳定性与大负荷能力，专用于光伏玻璃、铝合金边框、背板等材料的强度验证。
支持三点弯曲、压缩、双轴拉伸，可测试钢化玻璃抗风压、边框疲劳寿命等关键参数，满足UL 1703与IEC 61730标准。

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光伏玻璃透过率测试仪

美能气浮台式光伏玻璃透射率测试仪PGT2400是光伏玻璃性能检测的利器，具有高精度的测量准确性、测量稳定性，能够测量样品的透射率，计算出超白压花玻璃的AM1.5有效太阳光透射比、可见光透射比、Y、x、y、L*、a*、b*等颜色参数，显示CIE色坐标及色品图。
配备气浮平台，保证测量移动玻璃时，无摩擦运动减少磨损，且节省搬运玻璃的人力。

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醋酸测试试验箱

光伏组件通常采用eva(乙烯-醋酸乙烯酯共聚物)胶膜对太阳能电池进行封装，在户外长时间暴露使用过程中，除了水汽侵蚀，上述eva胶膜还会降解生成醋酸和烯烃，逸出的醋酸能够对太阳能电池的电极栅线、焊带等造成腐蚀，影响光伏组件的输出功率与安全性能。
美能醋酸测试设备为箱套箱模式，可对晶硅电池片进行耐酸度测试，可有预防组件成品醋酸失败。使用场景：电池厂成品定期监控，新浆料评估，组件厂来料监控。

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交联度测试系统

美能交联度测试仪用作光伏组件封装的EVA交联、聚乙烯（PE）交联、聚乙烯绝缘电线电缆（XLPE）交联、天然高分子离子交联及高分子结晶度等其他材料的测试，检测其柔韧性、耐冲击性、弹性、光学透明性、低温绕曲性、黏着性、耐环境应力开裂性、耐候性、耐化学药品性、热密封性。

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二极管接线盒综合测试仪

ME-9960型光伏二极管接线盒综合测试仪是本公司针对光伏接线盒电气特性测试需求而研制的专用测试仪器。可测试接线盒内部二极管的正向导通压降VF、反向漏电流IR、反向电压VR、导通直流电阻R、以及温度TC等参数。能满足10W~400W接线盒（2只~8只二极管）的测试需求。被广泛应用于接线盒生产厂家的在线测试及组件使用厂家的进货验收。
符合光伏标准IEC61215、IEC61730。用于光伏组件接线盒的测试，可以自动识别被测元件，一次性对接线盒的多种参数进行测试。

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落球冲击试验机

美能落球冲击试验机是以规定重量之钢球调整在一定的高度，使之钢球自由落下试验，冲击击试件表面，观察其受损程度，用以判定塑胶、陶瓷、压克力、玻璃纤维、光伏组件、钢化玻璃及接线盒的品质。
吸盘采用电磁铁模式，符合标准GB/T9656、GB/T9962、GB/T15763.2标准的要求的冲击需要。

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半自动四探针

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全自动探针式台阶仪

美能全自动探针式台阶仪采用接触式表面形貌测量，可测量样品表面从微米到纳米尺度的轮廓，可以进行台阶高度、膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，是传统表面形貌测量的一个新发展。
接触力最小可达1mg，对测量表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面极广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用最广泛的微纳样品测量手段。

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多通道太阳能MPPT系统

美能多通道太阳能MPPT系统专为钙钛矿太阳能电池研究工作者量身打造，采用AAA级LED太阳光模拟器作为老化光源，可通过多种方式对电池进行控温并控制电池所处的环境氛围，可以对多组电池同时进行长期的稳定性能测试。
除了传统的MPPT模式以外，设备还增加了恒压和恒流老化模式，以增加稳定性研究的灵活性。并且MPPT还拥有强大数据分析软件可以实时查看和对比不同样品的各项性能指标。

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Horiba稳瞬态荧光光谱仪

HORIBA Fluoromax PLUS作为科研级一体式荧光光谱仪的代表，集成了配置灵活、易于操作等优点，同时还采用了全反射光路和单光子计数技术，率先将高灵敏度和宽光谱测量带到台式荧光光谱仪系统中，是新一代的高灵敏度科研级荧光光谱仪，选配时间相关单光子计数单元(TCSPC)和近红外检测器，使其拥有更宽的光谱测试范围(至1900nm)和更短的荧光寿命测试(至5ps)。

HORIBA Fluoromax PLUS可为固体/液体样品、高通量筛选、低温/高温、绝对量子产率、微量样品、滴定注射/停留提供全系列的解决方案。此外，它还可与荧光显微镜耦合，进行微米级显微荧光测量，通过与众多附件耦合，可实现强大的拓展性，从而满足不同实验需求。

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钙钛矿P1激光划线测试仪

在透明导电电极TCO沉积后，空穴传输层沉积前，激光设备会对样品进行激光划线，形成独立的条形导电电极，并作为后续P2、P3划线的定位点。因此通过对P1划线进行质量检测，可以多方面提高钙钛矿电池的效率、稳定性、均匀性、寿命、安全性和制造成本效益。
钙钛矿P1激光划线测试仪是一款专为钙钛矿太阳能电池P1激光划线工序设计的高精度测试设备。设备可以通过探针与样品直接接触，测试其电阻等参数，精准判断P1划线的优劣情况。

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钙钛矿在线膜厚测试仪

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等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺过程中对SiO2厚度的影响因素

日期：2024-06-21

等离子增强化学气相沉积（PECVD）由于其具有成膜速度快、可原位掺杂、低温沉积工艺等优势，在目前n型TOPCon太阳能电池的工业生产技术中备受关注。但其工艺过程中的沉积功率、真空压力和N2O流速会对SiO2的厚度以及均匀度产生影响。美能UVPLUS SE光谱椭偏仪是专门针对太阳能电池研发和质量把控领域推出的一款设备，用于测量和分析光伏领域中多层纳米薄膜的层构参数（如厚度）和物理参数（如折射率、消光系数），也可测量块状材料的光学性质。本篇文章将带大家了解PECVD法制备的SiO2薄膜随着工艺条件所产生的影响。

等离子增强化学气相沉积（PECVD）

等离子增强化学气相沉积（PECVD）于2018年被Fraunhofer ISE首次应用于制备TOPCon太阳能电池。PECVD技术利用低温等离子体在低气压下诱导工艺室（即样品盘）阴极产生辉光放电。这种辉光放电或其他发热装置可将样品的温度升高到预定水平，然后引入受控量的工艺气体。这种气体会发生一系列化学和等离子反应，最终在样品表面形成一层固体薄膜。PECVD在太阳能电池和光电设备的制造中发挥着举足轻重的作用。它能够在大面积表面沉积薄而均匀的薄膜，因此是制造太阳能电池抗反射涂层和其他功能层的理想选择。

直接和远程PECVD反应器示意图

由于其具有成膜速度快、可原位掺杂、低温沉积工艺等优势，在目前n型TOPCon太阳能电池的工业生产技术中备受关注。但其工艺过程中的沉积功率、真空压力和N2O流速会对SiO2的厚度以及均匀度产生影响，而氧化硅（SiO2）薄膜层的厚度和质量决定了隧穿效应的强弱，进而能够影响载流子的选择性收集和复合损失。

SiO2的薄膜生长原理

生长SiO２薄膜时，反应气体在等离子体中被裂解成为单体，形成包含硅离子、氮离子、氢离子、氧离子的活性基团；其次，各种活性基团向基材表面扩散输运，吸附在基材表面并在表面扩散；最后，各种活性基团与表面发生结合反应成膜。在SiO２薄膜的生长过程中，H离子以Si-H、Si-O-H和H-O-H的形式存在，氮离子以Si-N、Si-O-N的形式存在，其中氢离子的存在会使薄膜结构变得疏松多孔，降低折射率，所以要尽可能地减少氢离子，氮离子的存在会增加折射率。

PECVD法生长SiO２薄膜存在反应

沉积速率对SiO2的制成影响

我们将沉积功率从4000W增加到12000W，测量出SiO2的厚度从0.3nm逐渐增加到1.0nm，均匀性从83%下降到29%，之后处于稳定状态。

随着沉积功率的增加，反应气体中活性离子能量增加，硅离子和氧离子结合更快，所以二氧化硅沉积速率变快形成了更厚的SiO2层。当功率持续增加时，参与反应的活性离子的数目趋于饱和，等离子体的能量过高而对薄膜表面造成物理刻蚀作用，使得表面产生缺陷，导致SiO2的均匀度降低。

不同沉积功率下SiO2的厚度和均匀性图示

不同腔内压强对SiO2的制成影响

随着反应压强的升高，反应气体的浓度增加，反应产物中SiO2的浓度也相应增加，当腔体反应压强越大时，相当于更多的气体分子参与反应，导致更多的离子间碰撞，在没有足够的时间获得电离所需能量的情况下，频繁的碰撞将使等离子体密度下降，限制反应速率，因此在特定功率下，腔体反应压强增加到一定值时沉积速率增速变缓。腔体反应压强增加，反应产生的H２进一步参与SiO２的成膜反应，Si-H键结合的几率增加，沉积的SiO２薄膜结构变得梳松，致密性变差，折射率降低。

不同腔内压强下SiO2的厚度和均匀性图示

不同N2O流速对SiO2的制成影响

折射率不仅与薄膜密度和成膜的颗粒尺寸等因素有关，还与薄膜的组分密切有关，SiO２薄膜出现SixO１＋x，SixO１＋xNx，x值不为１，可在一定范围内随工艺和外界条件改变，对表观光学折射率的数值测量有重要影响。

当N2O的流速开始增加，腔体内部不能充分反应，导致生长的SiO2薄膜中的N含量升高，主要成分由SixO1+x，转向SixO1+xNx，折射率会增加，SiO2薄膜中Si-N键、N-H键含量增加，导致薄膜变得疏松。

不同N2O流速下SiO2的厚度和均匀性图示

PECVD法制备的SiO2薄膜的结构、元素成分和光学特性会随着工艺条件的不同而变化。当沉积功率增加，等离子体因能量过高而对SiO2薄膜表面造成物理刻蚀作用，折射率与均匀度降低。当墙体压强升高，反应气体的浓度增加，反应产生的H2电离后进一步参与了SiO2的成膜反应，Si-H键结合的几率增加，沉积的SiO2结构变得疏松，均匀度降低，折射率降低。

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本篇文章介绍了SiO2薄膜的均匀性与折射率、成膜的颗粒尺寸、薄膜的组分密切相关，可在一定范围内改变工艺条件，获得均匀度比较好的SiO2薄膜。美能UVPLUS SE光谱椭偏仪是专门针对太阳能电池研发和质量把控领域推出的一款设备，能对粗糙绒面纳米薄膜进行高灵敏度测量，测量精度可达0.05nm，可满足用户进行复杂高难度的测量需求。