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美能光伏|方块电阻测试法——四探针测量法
日期:2023-06-07
许多器件材料的重要参数都和电阻率有关,在光伏及半导体行业工艺飞速发展的今天,材料的电阻均匀性和电特性受到了人们的广泛关注。在表征材料时,精确的电阻率是至关重要的,它决定了材料导电性能的好坏。四探针测量法在半导体测量技术中已得到了广泛的应用,「美能光伏」研发的FP220A扫描四探针方阻仪,拥有超宽的测量范围、超高的测量精度,可以表征各种材料。本期「美能光伏」将带您了解表征材料中的方块电阻的测量方法。
方块电阻
方块电阻简称方阻,又成面电阻,指一个正方形的薄膜导电材料的一边到另一边之间的电阻。方块电阻有一个特性,就是任意大小的正方形边到边的电阻都是一样的,及任意长度距离之间的方阻都是一样的,这样方阻就仅与导电膜的厚度等因素有关。方阻测量通常用于表征导电或半导电涂层和材料的均匀性,用于质量保证。典型的应用包括半导体及太阳能电池、功能材料、非晶合金以及液晶面板等等。
那么方块电阻是如何测试呢?
四探针测量法
测量方块电阻最主要的技术就是四探针测量法。四个探头具有相等的间距,并显示与表面接触。电流(I)通过探头1注入并通过探头4收集,同时测量探头2和3之间的电压。它通过在外部两个探头之间施加直流电流 (I) 并测量内部两个探头之间的产生的压降来工作。
四点探头示意图
美能扫描四探针方阻仪
美能扫描四探针方阻仪是专为科学研究设计的。可以对最大220mm样品进行快速、自动的扫描,获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%,为行业领先水平。0.1μΩ~100MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景,可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。
● 0.1μΩ~100MΩ的超宽测量范围
● 可计算正电流和负电流之间的平均薄层电阻,消除可能发生的电压偏差,提高测量精度
● “手动任意点测量”和“全自动多点扫描”两种测量方式,多种预设方案
● 探针压力3-5N可调,防止探头刺穿薄膜,同时提供良好的电接触
美能扫描四探针方阻仪可进行简单、直接的电阻测量,且提供丰富的探针类型以适用和优化不同表面材料的特性表征测量,为更多行业领域的用户带来更好的测量体验!